Analytische Möglichkeiten
Energiedispersive Röntgenspektroskopie (EDX bzw. EDS, am SEM und TEM) sowie
Wellenlängendispersive Röntgenspektroskopie (WDX bzw. WDS, nur am SEM):
Durch die Wechselwirkung mit energiereichen Elektronen können die Atome der Probe zur Emission elementspezifischer Röntgenquanten angeregt werden. Diese charakteristische Röntgenstrahlung wird detektiert und kann qualitativ und quantitativ ausgewertet werden. Die Wahl der Methode (ob EDX oder WDX) hängt von der Probe und Fragestellung ab, da beide Methoden im Vergleich zueinander Vor- und Nachtteile mit sich bringen.
Elektronen-Energieverlust-Spektroskopie (EELS) und
Energiegefilterte Transmissionselektronenmikroskopie (EFTEM), beide nur am TEM:
Durch die Wechselwirkung mit den Atomen der Probe können die Primärelektronen einen charakteristischen Energieverlust erleiden. Durch die Aufnahme des Energieverlustspektrums (EELS) erhält man, bei geeigneten Proben, Informationen über die beteiligten Elemente und deren Bindungszustand. Durch gezielte Abbildung von Elektronen mit einem charakteristischen Energieverlust in der Bildebene wird die Verteilung der betreffenden Elemente in der Probe abgebildet (EFTEM).