Geräteaustattung

SAXS / GISAXS

Röntgenkleinwinkelstreuung

Ellipsometrie

Einwellenlängenellipsometer zur Schichtdickenbestimmung

Spin Coater

Hochgeschwindigkeits-Rotationsbeschichtung

Dip-Coater

Kontrollierte Tauchbeschichtung

Plasma-Etcher

Niederdruck Sauerstoff-Plasma

Kontaktwinkel Messgerät

Bestimmung von Oberflächenspannung und Oberflächenenergie

Optische Auflichtmikroskopie