Forschung

Selbstorganisation von Blockcopolymeren

Verwendung für lithographische Masken, Membranen und andere Funktionalitäten

Nanoimprint-Lithographie

Materialien als Strukturgeber für die Softlithographie im sub-µm Regime

GISAXS Oberflächencharakterisierung

Methodische und apparative Weiterentwicklung, Simulationen und Berechnungen

SAXS Strukturuntersuchungen und Analyseverfahren