Sextett

Professor Nagorny und seine Mitarbeiter

Massenpektroskopie

Institut für Physikalische Chemie - Universität Hamburg
Bundesstr. 45
20146 Hamburg Deutschland



Mit einem Quadrupol-Massenpektrometer (Q-MS) sind wir in der Lage, sowohl qualitative als auch quantitative Ergebnisse einer Gasanalyse zu erhalten.
Q-MS wird für die Residuum- und Prozessgasanalyse genutzt. Im Fall der Residuumgasanalyse ist das Massenpektrometer ueber einen Flansch direkt mit dem Behaelter verbunden. Im Fall der Prozessgasanalyse soll ein Druckminderer, der die Gaskomponenten nicht trennt, angewandt werden.
Q-MS bietet nur eine schwache Massen-Aufloesung. Dadurch wird die qualitative Analyse erschwert. Haeufig koennen nur Massen zwischen ein- und zweihundert amu unterschieden werden.
Wir nutzen ein Q-MS-System von Leybold, naemlich den Transpector C 100 F. Ein besonderes Einlasssystem ermoeglicht die erforderliche Druckminderung ohne Trennung der Gaskomponenten, was ueberaus wichtig fuer die quantitative Gasanalyse ist.
    Der Gaseinlass kann ueber drei Wege erfolgen:
  1. Ist genuegend Gas vorhanden, kann der Druckminderer direkt angeschlossen werden.
  2. Ist nicht genuegend Gas vorhanden, kann ein side tester oder
  3. ein Stroemungskontroll-Ventil benutzt werden.
Der dritte Weg bietet Messungen an dynamischen Systemen. In diesem Fallwird der Gasverbrauch des Q-MS' koordiniert mit dem measurement task. Eine besondere Software ermoeglicht die automatische Datenaufnahme.






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